Översikt
STACIS IIIc är en kompakt version av STACIS III** aktivt vibrationsisoleringssystem. Den ger lika utmärkt vibrationsisolering vid minskad höjd.
STACIS IIIc är idealisk för användning på rörliga golv utan eller med mycket lågt golv, eftersom standard STACIS III-system kan göra instrumentet för högt.
I tre isolatorkonfigurationer är isolatorns höjd mindre än 60 procent av den vanliga STACIS III-höjden. I system med mer än 3 isolatorer kommer höjden att vara mellan 60% och 70%, beroende på effektivbelastningsinställningen. Se specifikationerna nedan för mer information.

Fördelar med STACIS IIIC
Isolatorhöjden** är 42 procent lägre jämfört med konventionella STACIS III-system, men prestanda är inte sänkt.
STACIS är hundratals gånger starkare än luftisolering och har inga begränsningar för luftisoleringssystem. Det finns ingen "mjuk" fjädring och till skillnad från aktiva luftsystem kan STACIS placeras under verktyget med ett internt aktivt luftisoleringssystem, vilket gör att båda systemen fungerar i ***-tillstånd.
Unik seriell design och patenterad högkraftig piezoteknik
En bred aktiv bandbredd från 0,6 Hz till 150 Hz och 90% vibrationsdämpning från 2 Hz ** aktiv vibrationsisolering.
Prestanda

4500 lbs (2045 kg) payload tested with simulated vibration at VC-C
(500 μin./s, 12.5 μm/s RMS)
Prestanda Specifikationer
Specifikationer
Aktiv frihet | 6 |
Aktiv bandbredd | 0.6 Hz - 150 Hz |
Passiv inneboende frekvens | 18 Hz vertikalt och horisontellt |
Effektiv aktiv resonansfrekvens | 0.5 Hz |
Isolering vid 1 Hz | 40% - 70% |
Isolering vid ≥2 Hz | ≥90% |
Stabil tid efter 10 pund (4,5 kg) steg in (minskning 10:1) |
0,3 sekunder |
Inre buller | <0.1 nm RMSd> |
Arbetsbelastningsområde för varje isolator | Låg bärkraft: 400 - 1100 pund (181 - 499 kg) Medel bärkraft: 900 - 2100 pund (408 - 953 kg) Hög bärkraft: 1 900 - 4 500 pund (862 - 2 041 kg) |
Styvhet (1 000 pund/454 kg massa, medelstor bärkraft) | 40 000 pund/tum (73 x 10)5nötkreatur/meter) |
Magnetfält som släpps ut från avståndsisolatorn** 4 tum (102 mm) | <0.02 μG broadband RMSd> |
Isolatorens design, storlek, miljö och användningskrav
Miljö och säkerhet | Överensstämmer CE och RoHS |
Aktiv vibrationsisolering | ** En liten lastkapacitet på 1 500 kg tar emot signaler från högspänningsförstärkare med utgångar på upp till 800 VDC. Vertikala aktuatorer som stöder vibrationsisolerad nyttolast |
Passiv vibrationsisolering | Individuell hård homogen elastomer (ingen tryckluftskälla behövs) |
Vibrationssensorkomponenter | Inertivitetssensor med nedåtgående jordbävningsdetektor för mätning av markvibrationer under isolatorn och för att ge en spänning som är proportionell till vibrationshastigheten |
Aktiv återkopplingsstyrningskrets | Mät, hantera och dämpa markvibrationer under fjädrarna som stöder den isolerade ytan |
Isolatorstorlek (bredd x djup x hög) | 14.45 x 14.26 x 6.16* in. 367 x 362 x 157* mm * Unloaded height. Loading may decrease height by up to 0.12 in. (3 mm). Systems with ≥4 isolators may require the addition of external wedge mounts that add 1.6 in. (41 mm) to the height. |
Isolatorens vikt | 53 pund (24 kg) |
Arbetstemperatur | 50° - 90° F 10° - 32° C |
Lagringstemperatur | -40° - 130° F -40° - 55° C |
Fuktighet | 30 - 60% |
Systemströmkrav | 100、120、230、240 VAC 50/60 Hz AC; <600 W Överensstämmer med CE-standarder |
Markförskjutning | <480 μin. (12 μm) below 10 Hzd> |
Antal isolatorer per system | Minst tre. |
Tillbehör | Laminerad rostfritt stålplattform, ramverk, ståndrör, utjämningsanordningar, bävningsskydd, lyftskydd |
Specifikationer för DC-2020
Storlek (bredd x djup x hög) | 19 x 8,5 x 1,75 tum 483 x 216 x 45 mm |
Vikt | 6,3 pund (2,9 kg) |
Processor | 150/75 MHz dubbelkärna |
Provtagningshastighet | 10 kHz |
Simulerad utgång | 16 kanaler |
Simulerad ingång | 16 kanaler |
Statusljus | En enda LED |
Frontpanelens port | 1 seriell USB 2.0 1 seriell Micro-USB Ett Ethernet RJ-45 Två BNC |
Port bakom panelen | 1 seriell USB 2.0 Ett Ethernet RJ-45 1 RS-232 DB-9 konventionell seriell för konventionella STACIS 2100-isolatorer |
Användargränssnitt | Front LCD-skärm Teckenmenyn i superterminalen Utökat GUI för Microsoft Windows Inbäddad Ethernet GUI |
STACIS-användare och tillämpningsområden
Mikroelektronik, halvledare
▪ Chipdetektion
▪ Mikrografisk teknik
▪ maskkalibrering
Vetenskaplig forskning, nanoteknik
▪ SEM、TEM
▪ STEM、SPM
3. laserplatser
▪ Livsvetenskap, läkemedelsutveckling
4 Industriella tillämpningar
▪ Precisionsbearbetning
Varför välja ett aktivt system?
▪ Markvibrationer elimineras starkt från <1Hz och pneumatiska plattformar kan inte fungera effektivt vid denna låga frekvens
▪ Förbättra kvalitet och produktivitet
▪ Bildförmåga för mindre funktioner
▪ Frontlinjeforskning
▪ Stabiler än pneumatiska plattformar
▪ ** Lösning som uppfyller SEM:s standardparametrar för installation på plats
▪ Lägre kostnader för ny laboratorie- och forskningsutrustning
Varför väljer du STACIS
▪ Det är i vetenskapsmännens hjärta och ger en så skakningsfri miljö som möjligt.
▪ ** Kraftfullt lågfrekvensisoleringssystem på marknaden.
▪ För närvarande har alla SEM-tillverkare offentliggjort krav på installationsparametrar, och de vibrationsparametrar som behövs måste uppfyllas av ett aktivt vibrationsisoleringssystem.
▪ STACIS** uppfanns på 1990-talet och har vidareutvecklats, utvecklats och installerats av TMC med tusentals aktiva vibrationsisoleringssystem som tillförlitliga lösningar inom aktiv vibrationskontroll.
STACIS är hundratals hårdare än pneumatiska isolatorergånger
Stabilitetstiden som svar på störningar förkortas kraftigt tack vare den unika seriella konstruktionen och är idealisk för maskintillverkning, dynamisk belastning, laser eller oberoende styva plattor där ljuskällor måste installeras.
Följande fördelar finns i branschen **
▪ STACIS aktiva isoleringsbandbredd är 0,6 Hz - 150 Hz
▪ Aktiv vibrationseliminering med 6 frihetsgrader, 8-10dB vid 1 Hz
▪ Från 2-3Hz, isolering upp till 90% (20dB)
Professionell miljöundersökning
Miljöundersökning före och efter installation, inklusive vibrationer, magnetfält och ljudvågor
Certifiering av miljösystemet efter installation
▪ Utmärkta miljötjänster
▪ Utfärda professionella miljörapporter
▪ Tillhandahåller vibrationer, magnetfält, ljuddetektion och lösningar
▪ TMC rekommenderar praktiska lösningar till användare på grundval av sin långa erfarenhet
▪ Mer än 40 års erfarenhet inom branschen **
Tillämpa foton
