Lågtemperaturkatalys - högtemperaturkväveavtagningssystem

Detta reningssystem använder en hemmagjord patenterad katalysator, den här katalysatorns långa livslängd, högt reningsdjup och stark omedelbar fluktuationskapacitet hos antigasen; Med hjälp av fysisk adsorption och kemisk reaktionsprocess, först vid rumstemperatur för att ta bort en stor mängd orenheter H2O, O2, CO, CO2 i inertgas och vätgas (H2), sedan genom hög temperatur sugtorn för att ta bort resterande orenheter och N2, så att exporten ren gas orenheter delas upp till under 1 ppb. Denna enhet har en lång livslängd, enkel hantering och andra egenskaper.

Produktprestanda

Lämplig för användning med rågas med en renhet på inte mindre än 99,999%.

* Denna produkt är dubbelstruktur, en uppsättning arbete, en annan uppsättning återvinning reserv

Högt reningsdjup, export av olika orenheter <1ppb

Elektrokemiskt polerat 316 (L) rostfritt stål

Inbyggd 0,003 mikron högeffektivt filter

◎ Denna renare är konfigurerad med en förreningstorn för att ta bort en stor mängd orenheter före dyrbara förbrukningsmedel, vilket kan förlänga livslängden för dyrbara förbrukningsmedel

Produktapplikationer

◎ Elektronisk industriell gasterminalrening av högren monokristallisk kisel, chip-utvidgning, massintegrerade kretsar och fotoelektrisk produktion

Halvledarprocessutrustning: CVD, MOCVD, HVPE, diffusionsugn etc.

• Massiv gasrening

Systemparametrar