Märke: Gatan

Namn: Gatan SmartEMIC strömmätningssystem för elektroninduktion

Tillverkare: GATAN

Distributör: Opodong Co., Ltd.

Omfattande produktbeskrivning:

Produktfunktioner:

EBIC-analyssystem, kan realtidsprogramvara kontrollera fullautomatisk uppsamling av elektronstrålsenserad ström (EBIC) signaler, få EBIC-bildinformation, kan också få IV-kurvaninformation, zui kan slutligen testa PN-knutplatsen, bredd, lägre diffusionslängd, material eller enhets bristpunktspositionering, som används i stor utsträckning inom elektroniska halvledare.

Systemegenskaper:

EBIC-system med hög prestanda och jordbuller för kvantitativa EBIC-mätningar. Gränssnittsvänlig analysprogramvara körs på programplattformen DigitalMicrograph.

SmartEBIC-system för SEM inkluderar:

• Datorstyrd, laddningsbart batteridrivad EBIC-förstärkare

• EBIC-provställning (ASH) med justerbar volframsond för bordskontakt. Tillsammans med lämplig Gatan-adapter kan även prover lastas via luftlås*

• Gränssnitt med SEM provbord

• Anslutningsuttag och 4 BNC-kabellänkar, lågt buller för denna luftmatning, lämplig för mätning av EBIC och elektroniska strålar

• DigiScan II digital strålkontrollsystem med Fireware-teknik. Den innehåller två analoga ingångar för att samla in bilder i fotografisk kvalitet samtidigt och flexibelt kontrollera pixelintensiteten, vistelsetiden per punkt, skanningsrotation och mer. För vissa SEM kan det också kommunicera SEM:s driftsparametrar via programvaran.

• Digital Micrography-programvara med avancerade SmartEBIC-applikationsplugin för kvantitativa mätningar, realtids- och efterbehandlingsanalyser av linjära konturer

Huvudtekniska parametrar:

SmartEBIC kan automatiskt kontrollera insamling och kvantitativ analys av EBIC-signaler:

Kontrollsystem för skanning:

1-, 1-, 2- eller 4-bitars datainsamling ger ett stort dynamiskt område

Skanningsupplösning från 16 x 1 till 8000 x 8000 pixlar

Elektronstrålens vistelsetid, justerbar mellan 0,5 ms / pixel och 300 ms / pixel

4, automatiskt justera bildskärmstorleken för att göra EBIC experimentella processen mer bekväm

* 5, konfigurera Digi-Scan-kontrolleren, realtidsprogramvara styr fullt automatisk insamling, kan kvantitativ analys av signalen vid insamling av EBIC-signalen, utan ytterligare efterbehandling,

* 6, kan få EBIC bildinformation, kan också få IV kurva information.

Bullerkontroll:

1. Speciellt utformade EBIC-tillhörande provstationer

2. Koaxiell slingning

Återanvändbara blysyrbatterier (15 timmars livslängd)

4. Kan ändra förstärkarens förstärkning för att optimera signalbullerforhållet och bandbredden för datainsamling

Två valbara förstklassiga RC-filter, lågpassade eller högpass-filter

6. Låg drift förstoringsläge

Utöver tiden för kommunikation med datorn växlar systemets mikroprocessor automatiskt till viloläge

8. Rika bildbearbetningsverktyg. Inkluderar skärpningsverktyg, slätningsverktyg och Fourier-transformationsverktyg.

Kan anpassas med Lock-in teknik (systemet tillhandahålls inte, ett sådant konfigurationssystem kommer inte att kvantitativt analysera EBIC signaler)

Spårning:

genomföras genom programvara. +/-5V vid 12bit (1,22 mV) upptagningsupplösning.

Automatisering:

Systemet optimerar automatiskt bildstorleken även vid dålig inställning av förstärkarparametrar, vilket ger en bekvämare bildvisning

Förstärkarens förskjutning/förstärkning kan inställas automatiskt

Programvara:

Mätning av en-dimensionell diffusionslängd

Ett brett utbud av analysverktyg för ansiktssöning / linjeskanning, inklusive matematiska analysverktyg, filtreringsapplikationer och mer

Ett brett utbud av alternativ för bildvisning, inklusive överlappning av sekundära elektroniska bilder och EBIC-bilder

Programmeringsspråk hjälper dig att skriva skräddarsydd programvara för dina experiment

Huvudanvändningsområden:

Testa PN-knutplats, bredd, minor diffusionslängd metallmaterial

Positionering av material eller enhets fel

Testning av bitfeltäthet för halvledarmaterial

IV Egenskapstest

Tillämpningsexempel:

Tillämpning 1: Testa PN-knutposition, bredd, lägre diffusionslängd

Tillämpning 2: Positionering av fel i material eller enhet

Märke: Gatan

Namn: Gatan SmartEMIC strömmätningssystem för elektroninduktion

Tillverkare: GATAN

Distributör: Opodong Co., Ltd.